1、精密度（Precision)
定义为同一样品多次测定的平均值m和各次测定值mi之差。换句话说，精密度就是重现性（Reproducibility或Repeatability）。X荧光分析 的精度是和测量的时间有关的，测量的时间越长，则精度越高。WTH－2000型 的精度一般能达到0.1％。
2、准确度（Accuracy）
定义为各次测定值mi对于真值（t）的偏差。因而，若精密度差，准确度也一定差。
反之，准确度很差，精密度确有时很高。这是因为有时可能有系统误差的存在。要想可靠性（Reliability）好，精密度和准确度都要求高。
3. 计数统计误差
在放射性物质的测量中，假设仪器稳定性、机械在现性可确保，由仪器机械产生的误差可以忽略不计，但计数统计误差还是不能消除。 X射线强度是把入射到计数器上的光子变成脉冲后计数而得到的。因而计数值在本质上具有统计误差。
N为每秒计数，是一常量。显然，时间越长，则相对偏差就越小，即精度就越高。
4、检出限（Limit of detection）
当获得背景强度标准偏差三倍以上的峰值强度时的元素含量，就称为检出限（或叫检出限）。
这时候，测到的含量的置信度（可信的程度）是99.87％
测定检出限时，一般要用含量比较低的样品来测量。
检出限因所用试样（基体）的不同而不同。
WTH－2000型的检出限一般是10ppm，达10 ¤。
5、灵敏度(Sensitivity)
灵敏度是指元素含量变化一点 （例如1％），其相应的特征X射线强度的变化量。
灵敏度＝DC
灵敏度和检出限有联系，一般来讲，检出限较高，则灵敏度也较高。检出限和灵敏度都与本底有关。可以由下式表示：
本底低检出限高灵敏度高
不过，反过来推导是不行的。
6、漂移
由于电子元器件都会随温度的变化而参数发生变化，线路中放大器的放大倍数、高压的电压等都会发生变化，这样会导致谱峰发生漂移。谱漂移后会给测量带来误差。
EDX4500型仪器中有专门的软件跟踪漂移并进行校正。
7、误差
X荧光分析的误差往往是很难计算的，所以，通常情况下，把统计涨落引起的误差作为测量的误差。
